海瑞思液冷真空箱式氦检系统的设备组成

AI 算力、储能与新能源的爆发，让液冷散热从"可选项"变成"必选项"。液冷系统中的各类组件——液冷板、UQD 快接头、管路等，一旦出现微漏，就可能引发冷却液渗漏、短路宕机、散热失效等连锁故障。

真空箱氦质谱检漏，凭借极高的检测灵敏度，已成为液冷组件量产线必不可少的核心检测手段。

但一条能稳定量产的氦检产线，绝不只是买一台检漏仪那么简单。它由多套子系统协同构成，覆盖上料、充氦、检漏、氦气回收、清氦到数据记录的完整闭环。只关注主机、忽略配套，往往会导致氦气消耗居高不下、节拍跟不上产线、检测结果漂移、后期维护困难等一系列问题。

Part.1

机械系统

01真空箱系统——建立高真空环境

真空箱是核心腔体，包含真空箱体、高精度工装夹具、气动密封门、抽空泵组、真空测量仪表，以及管道阀门与执行机构。

工件置于箱体内，箱体抽至高真空；若工件存在泄漏，内部的氦气便会逸出进入真空腔体，被检漏系统捕捉。箱体需根据液冷部件的外形尺寸定制，夹具实现工件快速定位与密封；真空泵组负责快速建立真空环境，其配置水平直接影响产线节拍。

02充氦回收系统——控制用气成本

这是控制氦气使用成本的关键模块。测试完成后，将工件内部残留的氦气回收、重新储存循环使用，避免直接排空浪费。一套成熟产线的氦气回收率可达95%，大幅降低企业长期用气成本。系统包含回收泵、储气罐，内置氦浓度在线监测与自动补氦功能，实现充氦、回收、储存一体化运行。

氦气充注回收系统

03检漏系统——整套设备的精度核心

以氦质谱检漏仪为核心（如海瑞思HM-400 / HM-410系列），配套前级泵维持质谱室真空、标准漏孔定期校准灵敏度，保证量值准确可追溯。

系统实时采集箱内氦分压变化，定量换算漏率并自动判定，可识别焊缝、流道、接口处的微小泄漏。海瑞思方案已覆盖1.0×10-7Pa·m³/s级别，并可按更严标准提供更高灵敏度配置。

04清氦系统——保障连续量产稳定

检测后工件与箱体内会残留氦气，若不清除，会导致下一轮本底升高、出现误判。清氦系统通过氮气吹扫与抽真空置换清除残余氦，消除干扰，支撑产线长时间连续运行。

Part.2

电控系统

由 PLC 控制器、上位机系统、各类电器元件组成：

PLC：完成抽真空 → 充氦 → 检漏 → 回收 → 清氦的时序联动与安全互锁

上位机：参数配置、漏率曲线与判定结果显示、数据存储、报表导出，支持对接MES

电器元件：传感器、伺服、继电器、报警装置、安全光栅与门联锁，具备异常报警与故障诊断功能

由此实现每件产品检测结果自动采集、永久保存、全程可追溯。

Part.3

海瑞思液冷氦检全套方案

海瑞思提供真空箱氦检产线全套设备交付——不只是检漏仪器，而是完整的集成化产线：

氦气回收率 95%，显著降低长期用气成本

支持单工位、多工位配置，可对接自动化产线

适配液冷板、波纹管、分水器、UQD 接头、换热器等多类工件

目前已在多家液冷头部企业实现量产落地，设备稳定性与检测性能获客户高度认可

Part.4

方案核心竞争力

01全流程闭环

可完成液冷全流程检测，支持配套烘干、氮保压设备，覆盖气密检测大漏筛查、氦质谱微漏精检、清液烘干、充氮保压验证四大环节。

02核心部件自研

全链路自主设计，覆盖“治具一工装一仪器一整机"的全链条，核心模块自主研发，维护与升级响应更快。

03满足在线节拍

适配产线 UPH 要求，兼顾检测精度与生产效率。

04完整数据追溯

测试数据自动采集存储，支持对接 MES，每件产品结果可查，满足质量管控需求。

05全生命周期服务

从方案定制、样机测试、安装调试到运维培训全流程本地化，问题快速响应。

06灵活组合测试模式

根据产品规格、产能需求，自由搭配气密、氦检组合工艺，适配性极强。

结语

氦检，拼的从来不是单台设备参数，而是整套系统的稳定性与综合成本。只采购单一检漏设备，很难实现稳定量产。

海瑞思真空箱氦检方案，以多系统协同闭环，从源头把控液冷部件密封品质，为AI服务器、储能、新能源热管理设备的安全运行保驾护航。

需要定制液冷检漏方案，欢迎随时交流、试样测试。